プローブカード用クリーニング製品

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プローブカード用クリーニングシート

プローブカードは半導体のウェハー検査工程に使用されております。しかし、そのプローブカードは一定期間使用した後に探針部分のクリーニングを行わなければ、その機能を持続させることができません。 近年の半導体の性能向上と共にプローブカードも多ピン化、狭ピッチ化の一途を辿っており、高価なプローブカードの使用期間を伸ばす鍵を 握るクリーニングシートの重要性は高まるばかりです。 当社は、そのプローブカードのクリーニングに最適なシートを供給し、多くの半導体関連メーカーに使用して頂いている実績を持っています。 新製品【ASEタイプ】をはじめ、幅広いラインアップで様々なタイプの針先のクリーニングに対応いたします。

プローブカード用クリーニングシート
特長
  • 摩耗が少ないクリーニングが可能
  • カンチレバー、バーチカルタイプ、MEMSタイプ その他カードの種類を選ばず、様々なタイプの針先のクリーニングに対応 高温使用に対応したタイプもラインアップ
  • ウェハー、研磨板への貼付け可能

■ラインナップ

シートタイプ シート型式 平均粒径(µm) ベース材 粘着剤
PET Type WA4000-75 TEZ-G 3.0 PET イエロー 常温仕様
WA6000-75 TEZ-A 2.0 ホワイト
WA8000-75 TEZ-B 1.0 ライトピンク
GC6000-75 FEY-B 2.0 グレイ
PF3 Type GC4000-PF3 FEY-A 3.0 発泡ポリウレタン グレイ 耐熱仕様
GC6000-PF3 FEY-A 2.0 グレイ
GC8000-PF3 FEY-A 1.0 ブラウン
SI10000-PF3 FEY-A 0.5 オレンジ
SWE Type WA4000-SWE FWX 3.0 発泡ポリウレタン イエロー 常温仕様
WA6000-SWE FWX 2.0 グリーン
WA8000-SWE FWX 1.0 ピンク
SI10000-SWE FWX 0.5 オレンジ
Silicone Type ASE 1.0 シリコーン グレイ 耐熱仕様
BC3 Type GC4000-BC3 FEZ-C 3.0 ポリオレフィン グレイ 常温仕様
GC6000-BC3 FEY-B 2.0 グレイ
GC8000-BC3 FEY-A 1.0 グレイ

■PET Type

ラインナップ 特徴
・WA4000-75 TEZ-G
・WA6000-75 TEZ-A
・WA8000-75 TEZ-B
・GC6000-75 FEY-B
・ラッピングフィルム+粘着層の構造
・カンチレバーフラット形状品に対応
・強固な付着物の除去に適した構造
・ウェーハ貼付、研磨ステージ貼付に対応
構造

■PF3 Type

ラインナップ 特徴
・GC4000-PF3 FEY-A
・GC6000-PF3 FEY-A
・GC8000-PF3 FEY-A
・SI10000-PF3 FEY-A
・フラットなクッション層上に直接研磨層を形成
・低ダメージで高効率な針先クリーニングが可能
・カードタイプ、針先形状を選ばずに適用可能
・130℃までの耐熱仕様
構造

■SWE Type

ラインナップ 特徴
・WA4000-SWE FWX
・WA6000-SWE FWX
・WA8000-SWE FWX
・SI10000-SWE FWX
・凹凸のあるクッション層上に直接研磨層を形成
・低ダメージで高効率な針先クリーニングが可能
・カンチ、垂直タイプのプローブカードに適した構造
・ラウンド、クラウン形状の針先にも対応
構造

■ASE Type

ラインナップ 特徴
・ASE-N(GC1.0µm シートタイプ)
・ASE-P(GC1.0µm ウェーハ貼付タイプ)
・タッキング性のあるシリコン樹脂層へ研磨材を分散
・低ダメージで高効率な針先クリーニングが可能
・垂直、MEMSタイプのプローブカードにも対応
・ラウンド、クラウン形状の針先にも対応
・160℃までの耐熱仕様
構造

■BC3 Type

ラインナップ 特徴
・GC4000-BC3 FEZ-C
・GC6000-BC3 FEY-B
・GC8000-BC3 FEY-A
・ラッピングフィルム+粘着層の構造
・低ダメージで高効率な針先クリーニングが可能
・カンチレバーに適した構造
構造

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